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マイクロプラズマ

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著者/訳者名

京都大学 橘 邦英 東京工業大学 石井 彰三 東京大学 寺嶋 和夫 京都大学 白藤 立 編著

出版社 オーム社
発行年月日 2009年04月21日
ISBNコード 9784274207037
定価 ¥4,950(税込)

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概要

マイクロプラズマは、必要な場所に必要な性質のプラズマを生成させようというもので、材料プロセスや化学分析・センサ、プラズマディスプレイ、環境やバイオ・医療など、幅広く応用が期待されている。
 本書は、学生や研究者・技術者の教科書となるよう、マイクロプラズマの科学と技術を、基礎から応用まで体系的に解説。

目次

第1章 序 論
第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象
第3章 マイクロプラズマの生成技術
第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション
第5章 マイクロプラズマの応用

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