マイクロプラズマ
概要
マイクロプラズマは、必要な場所に必要な性質のプラズマを生成させようというもので、材料プロセスや化学分析・センサ、プラズマディスプレイ、環境やバイオ・医療など、幅広く応用が期待されている。
本書は、学生や研究者・技術者の教科書となるよう、マイクロプラズマの科学と技術を、基礎から応用まで体系的に解説。
目次
第1章 序 論
第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象
第3章 マイクロプラズマの生成技術
第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション
第5章 マイクロプラズマの応用
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