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シリコンに導入されたドーパントの物理

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著者/訳者名

公益社団法人 応用物理学会 半導体分野将来基金委員会

出版社 近代科学社
発行年月日 2025年03月28日
ISBNコード 9784764907188
定価 ¥5,500(税込)
※この価格は予価の為、発売時に変更している場合がありますのであらかじめご了承ください。

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概要

不純物ドーピングにおける基本的な課題や学術的疑問点を取り上げ、それらを物理的な観点から理解を深めることを目的とした一冊。

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