概要
超高精度加工における原子・分子の加工制御の仕組みを量子力学、非平衡統計熱力学、破壊力学、破損力学と加工原理を組み合わせて解説。
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超高精度加工における原子・分子の加工制御の仕組みを量子力学、非平衡統計熱力学、破壊力学、破損力学と加工原理を組み合わせて解説。
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